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发表于 2006-5-28 14:56:26 | 只看该作者 回帖奖励 |正序浏览 |阅读模式

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首先我们谈谈芯片制造的光刻:
  光刻是加工集成电路微图形结构的关键工艺技术,通常,光刻次数越多,就意味着工艺越复杂。另—方面,光刻所能加工的线条越细,意味着工艺线水平越高。光刻工艺是完成在整个硅片上进行开窗的工作。
            光刻技术类似于照片的印相技术,所不同的是,相纸上有感光材料,而硅片上的感光材料--光刻胶是通过旋涂技术在工艺中后加工的。光刻掩模相当于照相底片,一定的波长的光线通过这个“底片”,在光刻胶上形成与掩模版(光罩)图形相反的感光区,然后进行显影、定影、坚膜等步骤,在光刻胶膜上有的区域被溶解掉,有的区域保留下来,形成了版图图形。

           光刻是集成电路制造过程中最复杂和最关键的工艺之一。光刻工艺利用光敏的抗蚀涂层(光刻胶)发生光化学反应,结合刻蚀的方法把掩膜版图形复制到圆硅片上,为后序的掺杂、薄膜等工艺做好准备。在芯片的制造过程中,会多次反复使用光刻工艺。现在,为了制造电子器件要采用多达24次光刻和多于250次的单独工艺步骤,使得芯片生产时间长达一个月之久。目前光刻已占到总的制造成本的1/3以上,并且还在继续提高。

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发表于 2007-3-28 17:33:37 | 只看该作者

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发表于 2006-5-28 20:47:19 | 只看该作者

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发表于 2006-5-28 15:38:27 | 只看该作者

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发表于 2006-5-28 15:19:03 | 只看该作者

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发表于 2006-5-28 15:15:39 | 只看该作者

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发表于 2006-5-28 15:14:42 | 只看该作者

芯片制造----掺杂

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发表于 2006-5-28 15:12:58 | 只看该作者

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发表于 2006-5-28 15:11:46 | 只看该作者

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发表于 2006-5-28 15:10:25 | 只看该作者

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